VP-5LW

微小線幅測定システム

VP-5LW

Z軸ステージモーター出力ドライバ、オートフォーカス機能、計測ソフトウェア、Windows OSを搭載したオールインワン型AF画像処理ユニットと200万画素高精細モノクロカメラを組み合わせた簡単操作、低価格の微小線幅測定器です。

仕様

製品名 微小線幅測定システム VP-5LW
デジタル画像測定機 測定内容:線幅、円径
測定再現性 3σ=0.01μm(対物100倍、基準スケールをAF動作にて繰り返し測定)
最小表示 0.001μm
線幅エッジ検出 ネガ、ポジ、内―内、外―外、内―外、ボトムーボトムなど選択可能
校正値 レンズ倍率にあわせて20種類登録が可能
データ出力 測定結果のCSVデータ、測定結果画像(BMP/JPG)の保存が可能
OS、CPU Windows7 professional 32bit/インテル Core i7 プロセッサー
オートフォーカス機能 デジタルカメラの映像信号の画像処理方式
合焦精度 対物レンズの焦点深度の約1/3以内
AF検出位置 映像視野内の任意の高さと領域の設定でAF可能
Z軸制御 5相ステッピングモーター(標準)
Z軸分解能 0.005μm(組み合わせるステージによる)

製品の特徴

1.200万画素高精細カメラで高精度測定
半導体ウェハ、液晶カラーレジストなどの微小線幅を3σ=10nmの繰り返し精度で測定。
2.取り付け簡単、システムアップ!
ご使用の顕微鏡に取り付けて、線幅測定機にシステムアップができます。
3.線の種類に応じて、様々なエッジ検出指定が可能003
4.傾いている線も、検出した線に対して垂直に測定が可能。
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5.簡単操作、高精度AF機能を標準装備
高精度な寸法測定には個人差の無いピント合わせが必須。ピント誤差による測定誤差を防ぎます。

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用途例

1.液晶カラーフィルタ、レジストの線幅
2.半導体ウェハ-の約1μmまでの線幅測定
3.TAB、COF、リードフレームの各部線幅測定
4.ガラスマスクの線幅測定
5.電子部品の各部測定

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精度、システム構成

測定精度
※繰返し精度はオートフォーカスを使用し、サンプルの入れ替えはなしで、照明等同じ測定条件で10回測定した3σの値です。(サンプルの条件により上記と異なる場合があります)
※数値は200万画素モノクロCCDカメラAH-210Bで測定したものです。

システム構成図