TRK2

追従型オートフォーカスユニット

TRK2

system-case

照明系にピント位置検出用のターゲットマーク(円)を内蔵した顕微鏡とAF画像処理ユニットを組み合わせた追従型オートフォーカスシステムです。被写体に投影した2つの円の重心座標計算からピント位置を検出し、顕微鏡のステージモーターを制御してピント位置を保持する追従型のオートフォーカスユニットです。

仕様

製品名 追従型オートフォーカスユニット TRK2
合焦点方式 射映パターン重心座標追従方式+画像コントラスト方式
適応カメラ AFセンサー用カメラ:1インチ200万画素カメラ
画像計測用カメラ:お客様にて選択自由(Cマウント取り付け)
追従範囲 ±100μm(対物レンズ10倍) ※参考値
測定定再現性 ±1μm(対物レンズ10倍) ※参考値
Z軸最小表示単位 0.01μm
鏡筒 射映パターン入り正立三眼鏡筒(AFセンサー用に1つ使用)、Cマウント付
対物レンズ 5、10、20、50、100倍から選択
画像処理ユニット 型名:VP-5
OS Windows7 professional 32bit
CPU インテル Core i7 プロセッサー
内蔵メモリ 4GB
HDD 3.5インチ SATA  500GB
拡張スロット PCI Express( x16)×1、PCI Express( x4)×1、PCI( 32bit)×2
インターフェース USB2.0×6、RS-232C(D-Sub 9pinオス)×2、LAN×2(10BASE-T、100BASE-TX、1000BASE-T)

製品の特徴

  • 画像AFセンサーによりフォーカス位置を常に追従
  • 射映パターン追従式+分散式のハイブリッドAF機能を搭載
  • 画像計測用のカメラは、高画素、高感度、高速度カメラ等の選択が自由
  • ワークの高さ、段差情報をリアルタイムに表示
  • ウェハ鏡面やフィルムなどの透明体にも追従可能。
  • 画像計測用ソフトウェアも豊富に用意

用途

  • ガラス、フィルムの検査、計測
  • 外観検査(FPD、半導体ウェハ)
  • リペア装置(液晶、有機EL、半導体ウェハ)
  • 顕微鏡観察/計測システム
  • ガラスマスクの検査

原理

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システム構成

TRKシステム構成