TRK1

追従型 段差測定ユニット

TRK1

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照明系にピント位置検出用のターゲットマーク(円)を内蔵した顕微鏡と画像処理ユニットを組み合わせた段差測定システムです。被写体に投影した2つの円の重心座標計算からピント位置を検出し、顕微鏡のステージモーターを制御してピント位置を保持します。そのステージモーター移動量やリニアスケールから、段差、高さを測定する追従型の段差測定ユニットです。

仕様

製品名 追従型段差測定ユニット TRK1
合焦点方式 射映パターン重心座標追従方式+画像コントラスト方式
適応カメラ 1/3インチVGAモノクロカメラ
追従範囲 ±100μm(対物レンズ10倍) ※参考値
測定再現性 ±1μm(対物レンズ10倍) ※参考値
最小表示単位 0.01μm
鏡筒 射映パターン内蔵正立単眼鏡筒、Cマウント付
対物レンズ 5、10、20、50、100倍から選択
Z軸リニアスケール ストローク:0~50mm、最小読取値:0.1μm、精度:1μm
画像処理ユニット 型名:VP-5
OS Windows7 professional 32bit
CPU インテル Core i7 プロセッサー
内蔵メモリ 4GB
HDD 3.5インチ SATA  500GB
拡張スロット PCI Express( x16)×1、PCI Express( x4)×1、PCI( 32bit)×2
インターフェース USB2.0×6、RS-232C(D-Sub 9pinオス)×2、LAN×2(10BASE-T、100BASE-TX、1000BASE-T)

製品の特徴

  • 1.画像AFセンサーにより段差や深さを測定
  • ワークの高さ、段差情報をリアルタイムに表示
  • 射映パターン追従式+画像コントラスト式のハイブリッドAF機能を搭載、ワークや用途により使い分けが可能
  • ウェハ、ガラス、フィルム表面の反りに追従、反り量測定、プロファイル表示が可能
  • ウェハ鏡面やフィルムなどの透明体にもAF可能
  • XY自動ステージと連動し、XY座標と高さ情報を出力可能、簡易三次元形状測定が可能

用途

  • ガラス、フィルムの反り量測定
  • 電子部品や精密加工部品の段差測定
  • LCDやOLEDの検査
  • 半導体ウェハやプリント基板の検査
  • ガラスマスクの検査

機能

  • 射映パターン追従式段差測定(ミクロンオーダー)
  • 段差(高さ)の数値表示とプロファイル表示
  • 追従範囲をオーバーした場合、画像コントラスト式AFでのリトライ機能も搭載
  • XY自動ステージと連動し、XY座標と高さ情報をCSV出力し、簡易三次元形状測定が可能

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簡易三次元形状測定結果 (例)ガラス基板表面の反り

システム構成

TRKシステム構成