MT-3600LW

微小線幅測定システム

MT-3600LW

様々な半導体シーンに対応した高精度デジタルカメラ方式の測定器。高速顕微鏡 AF+線幅画像用 AF の画像取り込みとボトム、インサイド等の設定やプロファイル表示等の線幅に特化した機能で高精度自動測定が可能。

仕様

製品名 MT-3600LW
撮像素子 1/1.8型 3CCD デジタルカメラ
有効画素数 1636(H)×1236(V)×3RGB 約 600 万画素
映像出力 CameraLink
デジタル画像測定器 線幅測定
測定再現性 3σ=0.01μm(対物100倍、基準スケールをAF動作にて繰り返し測定
最小表示 0.001μm
線幅エッジ検出 内―内、外―外、内―外、ボトムーボトムなど選択可能
校正値 レンズ倍率にあわせて10種類登録が可能
データ出力 測定データをCSV方式として保存可能
コンピュータ部とOS PC/AT互換機,Windows 7
外部インターフェイス RS232C USB2.0 LAN
オートフォーカスユニット
(オプション)
デジタルカメラの映像信号の画像処理
合焦精度 対物レンズの焦点深度の約1/3
AF検出位置 映像視野内の任意の位置と領域の設定でAF可能
Z軸制御 専用5相ステッピングモーターカプラ使用
Z軸分解能 0.005μm

高精細カラーデジタルと画像ファイリング

3600_01半導体検査顕微鏡の全ての顕鏡方法においても、カラー画像観察は重要な要素です。200 万画素デジタルカメラで蛍光、レジストや DIC の段差像を鮮明なカラー画像でファイリング・計測できます。